Hệ đo đặc trưng điện của vi cảm biến vận tốc góc kiểu Tuning Fork

Nội dung của bài viết này trình bày về thiết kế hệ đo đặc trưng của vi cảm biến vận tốc góc. Vi cảm biến vận tốc góc được sử dụng là kiểu Tuning Fork trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử MEMS (thiết kế chế tạo tại Viện ITIMS). Hệ đo gồm có các mô đun tốc độ góc, mô đun chuyển đổi C-V (MS3110) và mô đun thu thập dữ liệu USB-6009 kết nối với máy tính xử lý dữ liệu bởi phần mềm LabvieW.