Chế tạo cảm biến khí cấu trúc dây nano In2O3 trên điện cực bằng phương pháp CVD

Hiện nay các loại cảm biến khí thế hệ mới trên cơ sở vật liệu có cấu trúc nano với nhiều tính năng ưu việt đang thu hút được các nghiên cứu đặc biệt là các dây nano oxit bán dẫn như SnO2, ZnO, TiO2 và In2O3...Trong nghiên cứu này, đã chế tạo dây nano oxit indium đơn tinh thể (NW) trên điện cực cài răng lược Platin bằng phương pháp CVD.

Từ khóa: Khoa học Công nghệ thông và Truyền thông, Cảm biến khí, Cấu trúc dây nano, Dây nano In2O3, Chế tạo dây nano, Phương pháp CVD